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上海交通大學(xué)蔡司sigma300掃描電鏡

發(fā)表時(shí)間:2024/9/30 11:00:33

設(shè)備介紹

掃描電子顯微鏡+電子束曝光

蔡司sigma300掃描電鏡用來(lái)觀察微米及亞微米級(jí)別的導(dǎo)電材料的材料表面結(jié)構(gòu),用途廣泛。凝聚態(tài)方向主要用來(lái)檢查制作的微型電路,波導(dǎo)等材料的結(jié)果鑒定。

掃描電鏡搭載Raith電子束曝光軟件,可實(shí)現(xiàn)維型電路的設(shè)計(jì)和曝光,最大寫(xiě)場(chǎng)1000um,最高精度100nm。

性能指標(biāo):分辨率:20nm---10kV,加速電壓:100V-30kV, 放大倍數(shù):50-500K,探測(cè)器:二次電子探測(cè)器SE2,Inlens探測(cè)器和紅外CCD相機(jī)。 

主要應(yīng)用:適用于導(dǎo)電材料和非導(dǎo)電材料表面形貌的觀察,獲得表面形貌的二次電子像。 

樣品要求:固體非粉末干燥樣品,樣品表面干凈,無(wú)油污,無(wú)磁性,且不易被磁化,樣品中不得含有鐵(Fe)、鈷(Co)、鎳(Ni)。高度小于20mm,直徑小于50mm。 多孔類(lèi)或易潮解的樣品,請(qǐng)?zhí)崆罢婵崭稍锾幚怼?樣品應(yīng)具有導(dǎo)電性。若樣品不導(dǎo)電,需要進(jìn)行鍍金、碳等導(dǎo)電膜的處理。 

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注:文章轉(zhuǎn)載于上海交通大學(xué)物理與天文學(xué)院公告平臺(tái)掃描電子顯微鏡&電子束曝光

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